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先进的光刻技术可能要请教相关专家,我们比较注重光刻胶的杂质分析检测技术。
碳酸氢根在离子色谱中往往以碳酸根形式被检测,通常检测范围为几十ppb~几十ppm。一般用KOH为淋洗液,以阴离子交换色谱柱分离,抑制型电导检测器检测。
超纯水一般阴阳离子限量是ppt级的,纯净水离子限量约为几个到几十ppb。看做什么分析,离子限量几十ppm的样品,比如环境水可以用纯净水代替。痕量分析ppt~ppb级别的样品不能代替。
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