半导体产业已历经从PC到移动互联,再到AI大模型的多次跃迁 。当前,2纳米及以下制程的建设成本已超过250亿美元,GAA架构的边际效应递减,而先进封装(如Chiplet、3D IC)成为后摩尔时代的战略考量 。半导体技术的竞争,本质上是测量精度的竞争。当器件的关键尺寸缩小至几纳米,仅相当于几十个硅原子的宽度时,“看见”原子即是“掌控”未来。
在这种背景下,超精密分析技术不再是生产线的“辅助者”,而是决定产品性能与产量的“核心命脉”。随着HBM(高带宽存储器)、3D DRAM和Gate-All-Around晶体管的量产,微小的原子尺度界面粗糙度或应变弛豫,都可能导致器件性能的彻底失效 。正如国家对新质生产力的战略定调,集成电路作为产业之首,其制造过程的每一步都需要极致的精度控制 。
基于此,化工仪器网特“第五届半导体超精密分析技术及应用线上研讨会”,会议将聚焦超精密分析技术在半导体全流程中的关键应用,揭示从材料研发到量产的深层奥秘,搭建一个开放专业的线上交流平台。会议将邀请行业资深专家、仪器应用工程师等共同分享交流。