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第一届半导体精密分析技术及应用线上研讨会

开播时间: 2022年10月20日 9:30 主讲老师:杨树明 李策 包沈源 马岚等
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课程简介 讲师介绍 合作厂商 讲师答疑 课程提示

课程简介
  一、背景
 
  作为数字时代的底层支撑,在数字经济、新冠肺炎疫情和地缘政治三重因素叠加作用下,半导体产业对国家安全的重大意义,对人民生活的深远影响越来越突出。
 
  随着半导体产业向小型化和集成化方向发展,微米量级的器件尺寸对测试技术提出新的挑战,此外,作为半导体产业的基石,高纯金属材料、高纯气体、高纯水和光刻胶等高纯材料的痕量分析不断有新的需求,材料的纯度决定着半导体器件工艺的高度,多年来,分析科学家及仪器厂商一直在不断努力提升半导体器件和高纯材料的测试精度和效率。
 
  基于此,本期“半导体超精密分析技术及应用”线上研讨会,计划于2022年10月20日举办,深入探讨半导体行业超精密分析需求、半导体器件超精密测量技术动态、半导体高纯材料的研究动态和技术进展、质谱/光谱/色谱等痕量分析技术动态及应用案例、工业CT/核磁/电镜等检测技术的动态及应用案例,以期为从事半导体器件以及相关高纯材料开发、超精密分析技术研究的科研人员和企业研发人员开拓思路,助力半导体行业健康发展。
 
  二、报告议程
 
报告议程
 
  三、赞助企业
 
  赛默飞世尔科技ThermoFisher Scientific
 
  天津三英精密仪器股份有限公司
 
  徕卡显微系统(上海)贸易有限公司
 
  牛津仪器科技(上海)有限公司
讲师介绍(排名不分先后)

包沈源

徕卡显微系统(上海)贸易有限公司应用工程师

杨树明

西安交通大学教授、博士生导师

李策

天津三英精密仪器股份有限公司应用工程师

马岚

牛津仪器纳米分析部应用科学家

李小波

赛默飞世尔科技ThermoFisher Scientific色谱质谱部痕量元素分析应用专家

朱岩

浙江大学教授

杨学林

北京大学教授级高工

徐宗伟

天津大学英才副教授,博导

徐加泉

东华理工大学博士,副教授

讲师答疑 我有疑问
  • FIB切片如何保证不损伤样品,尤其是较软的物质?
    讲师 回复

    FIB一般使用的聚焦离子束,能量较大,极易损伤热敏感样品。因此,如果坚持使用FIB加工的话,需要进行冷冻。Leica三离子束用的是散焦离子源,能量温和,对热敏感样品极其友善,能够最大程度地保护样品。另外,FIB会有明显的Ga离子注入和表面非晶层问题,如果遇到这类现象,可以使用Leica三离子束进行表面抛光,去除这些损伤层。

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  • 可以进行冷等离子体技术的试验吗?
    讲师 回复

    我们可以制备低温等离子,并用于有机分子的离子化。

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  • 可以进行定量分析吗
    讲师 回复

    可以的

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  • 老师您好,请问目做过前的实验有和企业合作吗?
    讲师 回复

    我们目前的实验有一部分已经进行了转化(比如气溶胶直接质谱分析),但还有很多是处于实验室阶段,我们也在积极寻求企业合作。

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  • particle的定性分析有没有研究
    讲师 回复

    我们有做一些颗粒的分析,包括PM2.5、汽车尾气中的颗粒物、水中的悬浮物、研磨后的矿样粉体等,我们可以采用不同的提取剂,对颗粒样品中的不同组分进行在线的顺次提取和分析,获得颗粒物中的有机组分和金属组分信息。

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  • 老师您好,请问咱们这个现阶段应用和之前的方式比成本怎么样?是高了还是低了?
    讲师 回复

    我们的分析方法成本更低,因为省去了复杂的样品预处理过程,所以节约了复杂样品预处理所需的仪器、试剂及人工成本。

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  • 老师,色谱仪精确度如何?
    讲师 回复

    不同的色谱精确度差别很大,针对离子色谱,一般情况下误差在5%以内,但如果是针对浓度非常低的超痕量测试,误差可能会随着浓度的下降而变大。

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  • 请问目前研究应用领域广泛吗?目前研究主要是实验阶段,请问应用时的稳定性是否验证呢?
    讲师 回复

    氮化镓基光电子器件已大规模应用,例如蓝光LED,现在的到处可见的景观照明,大部分采用GaN LED。在GaN电子器件方面,部分已商业化。例如在射频器件领域,已应用在通讯基站里边。在功率电子器件领域,部分实现商用化,如手机快充。只是在高压应用领域,稳定性可靠性还需要进一步提高。

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  • 将电子的能量提高到非平衡态“激发态”的过程是加热加压还是怎么样的呢?可以人为的控制激发态的光子向具体方向的低能态跃迁吗?
    讲师 回复

    CT是利用X射线进行成像,商用的X射线源通过施加高压电场产生高速运动电子,轰击靶材,产生X射线

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  • X射线与CT检测主要区别是什么?
    讲师 回复

    2D X-Ray成像类似于投影图,只能得到样品一张二维的图片信息。CT得到的是三维体数据,在软件中能够在任意位置,任意方向进行虚拟的切片,观察内部的结构。

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  • 仪器可以做痕量杂质分析方面的操作吗?会有干扰校正方程来扣除干扰分子离子的影响吗?
    讲师 回复

    密度不同,物体对射线的吸收能力不同,反映在CT图像上,图像灰度值有差异。

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  • 锂电行业有应用吗
    讲师 回复

    在锂电行业,实验室中有做电池失效分析会使用CT,在破坏外部结构的情况下,观察内部情况,可以测量极片对齐度,观察极片褶皱等。在产线也有相关的应用

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  • 检测效率如何?
    讲师 回复

    检测效率要具体的检测内容,对电子制造领域,平面CT单个视野扫描时间最快5秒钟

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  • 出报告需要多长时间?
    讲师 回复

    整体的测试时间依据测试中心的繁忙程度,按照送样品的顺序进行测试,一般在3-7天

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  • 假如一个10×10阵列BGA芯片在中间有焊点虚焊,怎么采用三维来确认焊点位置,因为在水平的xy方向都会有外边焊点的阻挡
    讲师 回复

    CT利用的是X射线的穿透性进行成像,不破坏样品,扫描测试后,获得三维体数据,在软件中能够在任意位置,任意方向进行虚拟的切片,观察内部的结构,不受其他器件或者是其他区域的遮挡,焊球内部的气孔也是可以检测的,可以手动调整切片找到缺陷的位置,若为产线上需求也可利用自动识别算法。

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  • 这些测试的结果具有权.威性吗?测试精度和效率如何?出检报告要多久?
    讲师 回复

    在电子制造领域,CT检测有相关的标准,可作为一种有效的检测方式。CT检测不同于可见光检测,关注的是分辨率,即图像中一个像素点对应的实际尺寸,分辨率越高,能够检测到缺陷尺寸就越小。整体的测试需要的时间依据测试中心的繁忙程度,按照送样品的顺序进行测试,一般在3-7天

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  • C T 扫描工作时是针对单个产品还是可以批量同时使用?作业时间长吗?
    讲师 回复

    旋转CT扫描工作时,需要的分辨率越高,视野就越小,相应的时间也会越长。能否批量要看实际样品的情况。对于电子制造领域,平面CT单个视野扫描时间最快5秒钟

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  • 旋转CT在实际中都有那些应用?
    讲师 回复

    选装CT用于科研方面,观察样品的内部机构,例如材料科学方面,观察在不同作用后,样品内部的变化情况;对于产品,可以观察内部缺陷,进行失效分析。感兴趣可以与客服联系

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  • X射线在电子行业的注意作用是哪些
    讲师 回复

    旋转CT分辨率越高,能看到的缺陷尺寸就越小,分辨率与样品的大小有关系,样品越大,分辨率就越低。多用于科研和失效分析。平面CT能够对大尺寸板状样品进行高分辨成像,适合于电子制造领域

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  • 请问教授如何看待半导体xray检测市场未来发展
    讲师 回复

    因为 Xray 的波长短,对半导体先进制程具有应用前景

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  • 请问那个远场超振荡是什么原理?发表了吗?
    讲师 回复

    远场超振荡是借助微纳多环带结构实现光学衍射聚焦,前期已经发表了一系列的论文

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  • 无损检测是超声波检测?
    讲师 回复

    超声波检测是无损检测的一种,但是无损检测有很多种,对于几何量测量无损检测主要指非接触测量方法。

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  • 老师请问:接触与非接触哪种测量精度更高一些?仲裁的话用哪种方法?
    讲师 回复

    很难笼统说接触或非接触测量方法哪个测量精度高,就报告中提到的接触和非接触测量来讲,接触测量主要基于原子力显微镜的方法,整体测量精度更高一些

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  • 杨老师,三维检测成像的分辨率和采集时间如何平衡或同步优化提高?谢谢~
    讲师 回复

    分辨率和采集时间相互制约,如何平衡和优化取决于实际需求。

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  • AOI无法明确区别出电极针痕、刮痧和污染,有什么办法优化?
    讲师 回复

    AOI 是否能够区别电极针痕、刮痧和污染,主要取决于电极针痕、刮痧和污染的尺度大小和要求检测的精度;可以通过减小视场的办法提高识别精度。

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  • 多目视觉检测结果是同时出现吗?可视化性能强吗?检测结果如何呈现?作业人员容易发现异常吗?
    讲师 回复

    多目视觉检测系统中多目可以同时获取数据,通过三维重构能
    够可视化,从可视化结果可以发现是否存在异常

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  • 什么单位能用这款设备呢?怎么推荐呢?
    讲师 回复

    目前工业产线对光学自动检测系统具有广泛的应用需求。

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  • 自动光监测准确性与哪些因素有关系?
    讲师 回复

    这与检测系统的标定精度、装配精度以及测量精度有关

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课程提示
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