第一届半导体精密分析技术及应用线上研讨会视频在线观看、在线咨询

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课程简介

　　一、背景

　　作为数字时代的底层支撑，在数字经济、新冠肺炎疫情和地缘政治三重因素叠加作用下，半导体产业对国家安全的重大意义，对人民生活的深远影响越来越突出。

　　随着半导体产业向小型化和集成化方向发展，微米量级的器件尺寸对测试技术提出新的挑战，此外，作为半导体产业的基石，高纯金属材料、高纯气体、高纯水和光刻胶等高纯材料的痕量分析不断有新的需求，材料的纯度决定着半导体器件工艺的高度，多年来，分析科学家及仪器厂商一直在不断努力提升半导体器件和高纯材料的测试精度和效率。

　　基于此，本期“半导体超精密分析技术及应用”线上研讨会，计划于2022年10月20日举办，深入探讨半导体行业超精密分析需求、半导体器件超精密测量技术动态、半导体高纯材料的研究动态和技术进展、质谱/光谱/色谱等痕量分析技术动态及应用案例、工业CT/核磁/电镜等检测技术的动态及应用案例，以期为从事半导体器件以及相关高纯材料开发、超精密分析技术研究的科研人员和企业研发人员开拓思路，助力半导体行业健康发展。

　　二、报告议程

报告议程

　　三、赞助企业

　　赛默飞世尔科技ThermoFisher Scientific

　　天津三英精密仪器股份有限公司

　　徕卡显微系统(上海)贸易有限公司

　　牛津仪器科技(上海)有限公司

讲师介绍(排名不分先后)

: 包沈源

徕卡显微系统(上海)贸易有限公司应用工程师

博士，华东理工大学先进材料与制备技术专业。博士后工作于华东理工大学物理化学专业。现任职于徕卡显微系统材料电镜制样工程师。主讲人长期从事材料制备和电镜分析工作，具有扎实的理论基础和丰富的分析表征经验。

: 杨树明

西安交通大学教授、博士生导师

西安交通大学教授，博士生导师，ISNM Fellow、国家杰出青年基金获得者、国家重点研发计划项目首席、教育部新世纪优秀人才、陕西省重点科技创新团队带头人等。承担国家及省部级重大重点项目20余项，发表学术论文200多篇，出版专著2部，授权/公开国际国内发明专利100余件，获科技奖励7项。被遴选为亚洲精密工程与纳米技术学会(ASPEN)理事、中国计量测试学会常务理事、中国微米纳米技术学会微纳米测量与仪器分会副理事长、中国计量测试学会几何量专业委员会副主任委员、中国计量测试学会计量仪器专业委员会常务理事、中国仪器仪表学会机械量测试仪器分会常务理事、中国机械工程学会微纳制造技术分会常务理事等。在国际国内学术会议应邀做大会报告和特邀报告50余次，担任JMS、IJPEM-GT、IJRAT、NMME、MST、PE、IJAMT、Photonics等国际期刊编委和客座编委以及多个国内期刊责任编委和编委等。

: 李策

天津三英精密仪器股份有限公司应用工程师

毕业于天津大学，现就职于天津三英精密仪器股份有限公司市场拓展部，任应用工程师一职。主要负责X射线三维CT成像技术的应用拓展，熟悉CT技术在电子制造、锂电池、新材料、航空航天、岩土、地质、动植物、3D打印等领域的应用，拥有丰富的经验和应用案例，了解X射线三维CT成像技术在各行业应用研究中的技术需求。

: 马岚

牛津仪器纳米分析部应用科学家

2012年获得上海交通大学材料科学与工程学院博士学位，博士研究镁合金的时效强化机制及变形机制，主要利用TEM、SEM、EBSD等手段进行表征。2012-2015年间在日本物质材料研究所进行博后工作，期间研究的课题为高强韧镁合金的开发及磁性材料微结构表征，利用HAADF-STEM、SEM、EBSD及3DAP进行材料表征，熟悉掌握FIB及纳米操作手。2015年回国加入牛津仪器公司，主要负责能谱、EBSD、OP的推广及技术支持。

: 李小波

赛默飞世尔科技ThermoFisher Scientific色谱质谱部痕量元素分析应用专家

服务赛默飞超过20年，长期从事无机元素产品的应用开发和客户培训指导工作，尤其是在ICP质谱分析技术上积累了丰富的实践经验，为各领域客户提供有效的技术支持。

: 朱岩

浙江大学教授

中国仪器仪表协会分析仪器分会理事，离子色谱专家组组长，样品制备专家组副组长。承担国家及省部级各类项目30 余项，发表学术论文 300 多篇，授权发明专利 30 多项，获浙江省科学技术二等奖、湖北省科学技术二等奖、国家质量监督检验检疫总局科技兴检奖二等奖等省部奖励10多项；在国际学术会议应邀做大会报告和特邀报告 20 余次，担任《分析试验室》副主编，《色谱》和《中国无机分析化学》编委。

: 杨学林

北京大学教授级高工

　　北京大学教授级高工，国家优秀青年科学基金获得者。北京大学博士，东京大学博士后。近年来主要围绕Si衬底上GaN基功率电子材料和器件开展研究工作，在Si衬底上GaN厚膜及其异质结构的MOCVD外延生长、C杂质相关缺陷研究等方面取得了多项成果。迄今共发表SCI论文100余篇，包括以第一作者/通讯作者在Phys. Rev. Lett., Adv. Funct. Mater., Appl. Phys. Lett.等期刊上发表SCI论文30余篇。在本领域国内外学术会议上做邀请报告近20次，申请/授权国家发明专利13件。主持国家自然科学基金委优青项目、国家重点研发课题等10余项科研项目，担任Physica Status Solidi杂志客座编辑，Crystal杂志客座编辑。

: 徐宗伟

天津大学英才副教授，博导

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，英才副教授，博导，研究领域：宽禁带半导体器件、超快能量束(离子、fs激光)加工、拉曼及荧光光谱表征、微纳加工机理、微刀具制备及纳米切削技术。中国电子显微镜学会聚焦离子束专业委员会委员。主持国家级项目11项，5项国家自然基金委资助的国际合作交流项目，其中一项被英国皇家学会列入“牛顿基金”。在Journal of Materials Chemistry C顶级期刊等上发表SCI论文50余篇，获天津市技术发明奖一等奖。

: 徐加泉

东华理工大学博士，副教授

博士，副教授，东华理工大学, 江西省质谱科学与仪器重点实验室。主要从事混杂样品直接质谱分析原理、装置、方法及应用研究。近年来，在Angew. Chem. Int. Ed.、Anal. Chem.、Sci. China Chem.等学术期刊发表SCI论文30余篇，获授权专利8件，主持国家自然科学基金、江西省杰出青年基金等国家级和省部级项目5项，作为技术负责人参与国家重大科研仪器项目1项。现任《Chinese Chemical Letters》(中国化学快报)、《Journal of Analysis and Testing》青年编委。

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2022/10/20 16:26:37

老师：ICP发射光谱法在什么情况下须进行基体匹配分析呢？

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2022/10/20 15:54:20

FIB切片如何保证不损伤样品，尤其是较软的物质？

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- 仪器君
  
  @FIB一般使用的聚焦离子束，能量较大，极易损伤热敏感样品。因此，如果坚持使用FIB加工的话，需要进行冷冻。Leica三离子束用的是散焦离子源，能量温和，对热敏感样品极其友善，能够最大程度地保护样品。另外，FIB会有明显的Ga离子注入和表面非晶层问题，如果遇到这类现象，可以使用Leica三离子束进行表面抛光，去除这些损伤层。
  
  2022/10/21 10:56:37 回复赞（0）
2022/10/20 15:11:01

可以进行冷等离子体技术的试验吗？

回复（ 1）赞（0）
- 仪器君
  
  @我们可以制备低温等离子，并用于有机分子的离子化。
  
  2022/10/26 10:38:07 回复赞（0）
2022/10/20 15:10:09

可以进行定量分析吗

回复（ 1）赞（0）
- 仪器君
  
  @可以的
  
  2022/10/26 10:37:54 回复赞（0）
2022/10/20 15:07:18

老师您好，请问目做过前的实验有和企业合作吗？

回复（ 1）赞（0）
- 仪器君
  
  @我们目前的实验有一部分已经进行了转化（比如气溶胶直接质谱分析），但还有很多是处于实验室阶段，我们也在积极寻求企业合作。
  
  2022/10/26 10:37:41 回复赞（0）