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集成电路检测技术现状与发展趋势

发布时间:2025年10月24日 8:56 主讲老师:周维虎
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课程简介 讲师介绍 课程提示

课程简介
集成电路检测技术现状与发展趋势
讲师介绍(排名不分先后)

周维虎

中国科学院微电子研究所二级研究员
担任国家科技奖评审专家、中国机械工业科学技术奖评审专家、国家02重大专项光学曝光系统总体组专家、科技部十三五先进制造领域重大科技任务实施方案编写组专家/总体组专家、科技部十三五科学仪器设备开发重大科技任务实施方案编写组专家/总体组成员、国家02重大专项项目验收专家、863项目验收专家、973项目评审专家、科技部科学仪器重大专项评审专家(技术专家、监理、中期评估专家组组长)、科技部国际合作评审专家、自然基金评审专家(重大科学仪器专项、优青、面上、青年基金)、中国博士后科学基金评审专家、省市级自然基金评审专家(北京市、上海市、天津市、江苏省、浙江省自然基金)、省市级科技计划评审专家(北京市、上海市、江苏省、苏州市、常熟市、张家港市等); 全国 光电测量标准化技术委员会秘书长、中国计量测试学会计量仪器专业委员会副主任委员、中国仪器仪表学会光谱仪器专业委员会副主任委员、全国几何量长度计量技术委员会特聘委员、中国仪器仪表学会精密机械分会理事会理事、中国仪器仪表学会光机电技术与系统集成分会委员、中国仪器仪表行业协会专家委员、全国光辐射安全和激光设备标准化技术委员会委员、全国产品尺寸和几何技术规范标准化技术委员会委员、中国计量测试学会微纳测量技术委员会委员、中科院计算光学重点实验室学术委员会委员、北京市光电信息与仪器工程研究中心学术委员会委员、中关村光电产业协会理事/专家委员、中国光学工程学会委员、中国光学学会光电技术专业委员会委员;目前主要研究方向为集成电路超高精度光学检测、激光跟踪多自由度测量、飞秒激光频率梳高性能测量、视觉三维几何量测量及缺陷检测等。先后参与国家02重大专项、国家自然基金委重大仪器专项发展战略、科技部科学仪器重大科技任务“十三五”实施方案、科技部先进制造重大科技任务“十三五”实施方案、中科院有关科技计划等论证与编写工作。

课程提示
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